应用工艺： 真空气氛炉可使用氮气、氩气、氖气、水蒸气（qì）、二氧化碳等惰性气体，通气端（duān）可设置 1或（huò）多个进气口，每个进气口均设（shè）有针阀，连接真空表1个，出气端连接出气孔个，抽真孔个（gè），所有孔均设针（zhēn）阀，使用惰性气（qì）体的好处（chù）就是使工件不会产生氧化（huà）脱（tuō）碳。

真空气氛炉具有温场均衡、升温（wēn）速率快（kuài）、节能等优点，是高校、科研院所、工矿企业做气氛（fēn）保护烧结、气（qì）氛还（hái）原的（de）理想产（chǎn）品。

下面就详细介绍（shào）下真空气氛炉如何使用惰性气体：

1、接通工作气体（tǐ）气路，将管式（shì）炉气体（tǐ）出口端衔接机械泵。

2、打开真空气氛炉进气阀，合上真（zhēn）空泵电源。

3、真空气氛炉（lú）炉真空表到指针达到自动停止时，关闭出气（qì）阀和进气阀（fá）。

4、先逆时针旋动旋钮开气瓶主阀，顺时针旋动旋钮，慢慢打开（kāi）出口减压阀。

再（zài）逆时针旋（xuán）动旋钮慢慢打开管式炉进气阀；注意真空气氛（fēn）炉气压表的变化。

5、当气压表当气压稳定时，关闭（bì）进（jìn）气（qì）阀，打开出气阀，抽真（zhēn）空到-0.1，关闭出气阀。

6、重复第4和第5步两次。

7、关闭（bì）真空泵（bèng），慢慢打开进气阀。

如上（shàng）所述，真空气氛炉使用惰性气（qì）体就按（àn）以上步骤（zhòu）来操作。

真空气氛管式炉主要运用于：冶金，玻璃，热处理（lǐ），锂电正负极材料，新能源， LED发光材料，磨具等行业测定材料在一（yī）定气氛条件下的专业设备。广泛适用于高、中、低温CVD 工（gōng）艺，例如：碳纳米管的研制、晶体硅基板镀膜、纳米氧化锌的可控生长（zhǎng）等等；也（yě）可适用于金属材料的扩散焊接以及真空或保护（hù）气氛下热处理。

真空气氛管式炉的作用原理：

物体在通入一定气体的炉（lú）膛内进行烧结的方法。不（bú）同（tóng）的材料选择适宜的气氛烧结，有助于烧结过程，提高制品致密化程度、获得良好的性（xìng）能的制品。是在真空情况下，通入气（qì）氛保护烧结物体在炉膛内进（jìn）行烧（shāo）结的方法。

真空气氛管式炉常用的（de）有真空、氢、氧、氮和惰性气体 (如氩)等各种气氛。例（lì）如透明氧化铝陶瓷可用氢气氛烧结，透明铁（tiě）电陶瓷宜（yí）用氧气氛烧结，氮化物陶（táo）瓷如氮化铝等宜用氮气（qì）氛烧结。有时为保（bǎo）护烧结调协也须在保护气氛中（zhōng）操作。如（rú）钼丝炉宜通氢，钨丝炉宜在（zài）真空条件下工作。

真空气氛管式炉设备（bèi）特点有：

1.采用高纯（chún）石英管或刚玉管作为炉膛，可拆卸式（shì）的三面密封（fēng）方式，具有良好的洁净度和真空度（dù）。

2.耐火、保温材料全部采用先进的轻质纤（xiān）维制品，整机质量轻，能耗低。

3.加热（rè）原件采用U型硅钼（碳）棒或进口电阻丝。

4.温控系统采用（yòng）进口多段智（zhì）能程序温度控制（zhì）仪控制，温度（dù）控制（zhì）具有良好的稳定性和重复性。

产品适用范（fàn）围：电子电池材料（磷、酸、铁、锂材（cái）料等）、催化剂、太阳能材料、稀土（tǔ）材料（liào）、化工材料、碳素材料等各种粉体材料；