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氩(yà)气是一种无色无味(wèi)的气体,分子式Ar。氩气是一种稀有气体,生产直接来自于大气,在空中的提取(qǔ)率不到1%。氩气目前在工业中有很广的应用。它的性质十分不活泼,既不能燃烧,也(yě)不助燃。在飞(fēi)机制造、造船(chuán)、原(yuán)子能工业和机(jī)械工业部门(mén),对特殊金(jīn)属,例如铝、镁(měi)、铜及其合金和不锈钢在焊接(jiē)时,往往用氩作为焊接保护气,防止(zhǐ)焊接件被空(kōng)气氧化或(huò)氮化。在金属冶炼方面,氧、氩吹炼是生(shēng)产优质钢的重要措施。此外,对钛、锆、锗等特殊金属的冶炼,以(yǐ)及电子(zǐ)工业中也(yě)需要用氩作保护气。氩(yà)气还可(kě)以应用于光伏行业的单晶硅(guī)和多晶硅的生产(chǎn)中。作为一种惰性气体,它作为一种保护气体(tǐ)包围在单(dān)晶(jīng)硅和多晶硅的液面周围,可以保护单晶硅和多晶硅不被氧化。
单晶硅片是(shì)单晶硅棒经由一系列(liè)工艺切割而成的,制备单晶硅的方法有直拉法(CZ法)、区(qū)熔法(FZ法)和外延法,其中直拉法和区(qū)熔法(fǎ)用(yòng)于制备单晶硅棒(bàng)材。区熔硅单晶的最大需求来自于功率半导体器件。
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